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AG真人清洗機的幾種頻率區別與運用

常用的AG真人體激發頻率有三種




激發頻率為40kHz的AG真人體為超聲AG真人體,13.56MHz的AG真人體為射頻AG真人體,2.45GHz的AG真人體為微波AG真人體。



不同AG真人體產生的自偏壓不一樣,超聲AG真人體的自偏壓為1000V左右,射頻AG真人體的自偏壓為250V左右,微波AG真人體的自偏壓很低,隻有幾十伏,而且三種AG真人體的機製不同。


超聲AG真人體發生的反應為物理反應,射頻AG真人體發生的反應既有物理反應又有化學反應,微波AG真人體發生的反應為化學反應。超聲AG真人體清洗對被清潔表麵產生的影響最大,因而實際半導體生產應用中大多采用射頻AG真人體清洗和微波AG真人體清洗。而超聲AG真人則應用於表麵除膠、毛刺打磨等處理方麵效果最佳,典型的AG真人體物理清洗工藝是在反應腔體中加入氬氣作為輔助處理的AG真人體清洗;氬氣本身是惰性氣體,AG真人體的氬氣不和表麵發生反應,而是通過離子轟擊使表麵清潔。


典型的AG真人體化學清洗工藝是氧氣AG真人體清洗。通過AG真人體產生的氧自由基非常活潑,容易與碳氫化合物發生反應,產生二氧化碳、一氧化碳和水等易揮發物,從而去除表麵的汙染物。 以物理反應為主的AG真人體清洗,也叫做濺射腐蝕(SPE)或離子銑(IM),其優點在於本身不發生化學反應,清潔表麵不會留下任何的氧化物,可以保持被清洗物的化學純淨性,還有一種AG真人體清洗是表麵反應機製中物理反應和化學反應都起重要作用,即反應離子腐蝕或反應離子束腐蝕,兩種清洗可以互相促進,離子轟擊使被清洗表麵產生損傷削弱其化學鍵或者形成原子態,容易吸收反應劑,離子碰撞使被清洗物加熱,使之更容易產生反應;選用40KHZ超聲AG真人再加入適當的反應氣體,可以有效去除膠質殘渣、金屬毛刺等等,2.45GHz的微波AG真人常用於科研方麵及實驗室。




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