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AG真人體特殊性質的具體應用

AG真人清洗/刻蝕機產生AG真人體的裝置是在密封容器中設置兩個電極形成電場,用真空泵實現一定的真空度,隨著氣體愈來愈稀薄,分子間距及分子或離子的自由運動距離也愈來愈長,受電場作用,它們發生碰撞而形成AG真人體,這些離子的活性很高,其能量足以破壞幾乎所有的化學鍵,在任何暴露的表麵引起化學反應,不同氣體的AG真人體具有不同的化學性能,如氧氣的AG真人體具有很高的氧化性,能氧化光刻膠反應生成氣體,從而達到清洗的效果;腐蝕性氣體的AG真人體具有很好的各向異性,這樣就能滿足刻蝕的需要。利用AG真人處理時會發出輝光,故稱之為輝光放電處理。


AG真人體清洗的機理,主要是依靠AG真人體中活性粒子的“活化作用”達到去除物體表麵汙漬的目的。就反應機理來看,AG真人體清洗通常包括以下過程:無機氣體被激發為AG真人態;氣相物質被吸附在固體表麵;被吸附基團與固體表麵分子反應生成產物分子;產物分子解析形成氣相;反應殘餘物脫離表麵。


AG真人體清洗技術的最大特點是不分處理對象的基材類型,均可進行處理,對金屬、半導體、氧化物和大多數高分子材料,如聚丙烯、聚脂、聚酰亞胺、聚氯乙烷、環氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地處理,並可實現整體和局部以及複雜結構的清洗。



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